
電子ビーム描画装置向けの偏向アンプ、デジタル制御回路を開発してきた技術により、
お客様の様々な課題を解決する支援をいたします。先ずはお気軽にご相談ください。
高速・高精度、高安定度、
低ノイズ、高信頼性を実現します
当社の可変電圧アンプは、ユニット内部にデジタ
ル信号処理部、DAコンバータ部、アンプ部、
ADコンバータ部を持ち、様々なアプリケーショ
ンへの対応が可能です。用途に応じてユニット
内部のモジュール(基板)の入れ替えや部分的な
設計開発を行う事で開発費を削減し、お客様の
仕様に合わせた製品のご提供が可能です。
水冷板にてパワートランジスタを冷却
写真は、当社のパワーアンプや温度変
動を抑えたい帰還抵抗等の部品をユニ
ット内部の水冷板にて、冷やしている
一例です。素子の発熱を抑えるだけで
なく、ユニット内部の対流による温度
変化も抑えることが出来ます。ヒート
シンクや水冷板を使った、安定化のた
めの放熱・冷却構造も得意としており
様々なご提案が可能です。
当社の可変アンプは様々な分野で活躍することが可能です
アナログ出力が必要なお客様に特に最適で、直流、交流、どちらにも対応出来ます。お客様の用途に合わせたカス
タマイズを行うことで、様々なシーンで活用いただけます。
半導体製造プロセスにおける電子ビーム制御
当社の可変電圧アンプは、半導体製造装置である電子ビーム描画装置に、
偏向アンプとして採用されています。
電子ビーム描画装置は、ICの回路パターンをフォトマスクやシリコンウェハ上に描画するための装置で、
現代の高集積化されたICには欠かせない装置となっています。
この回路パターンを描画するためには、電子ビームを照射し描画していきます。
任意のパターンを描画するためには、電子ビームを高速高精度に変化させる必要があり、
このビームを可変させるために、当社の可変電圧アンプが採用されています。
電子ビームを高速高精度に変化させる
には、偏向電極に電圧を与える必要が
あります。回路パターンはnmオーダ
ーの微細パターンであるため、与える
電圧も超高精度の高安定が、不可欠で
す。さらに微細化が進めば、回路規模
も大きくなるため、可変電圧の高速化
も求められてきます。
当社の可変電圧アンプは、装置側の要
求を十分満足させ、20年以上に渡り
世界トップレベルの性能を持つ可変電
圧アンプをご提供してきた実績があり
ます。
コア技術とプラットフォーム共通化
当社では、それぞれの制御基板をお客様の仕様に合わせ開発・設計いたします。
さらに、当社が持つコア技術を活かし、さまざまな製品のプラットフォームとなる制御基板を提案
させていただく事が出来ます。
電子ビーム描画装置への開発段階で、装置が要求
する高速高精度を実現する可変電圧アンプを製造
するためには、DAコンバータが欠かせません。
しかし、市販されているDAコンバータでは、要
求されている性能を満足出来ないことが分かり、
ディスクリート部品にてDAコンバータ基板を自
作する事としました。この開発により、
当社の可変電圧アンプは世界最高レベルの性能を
持つにいたりました。
・ディスクリート部品にてDAコンバータ開発
・24bit分解能 20bit精度を実現
・市販DAコンバータでは困難なトップクラスの高精度/高安定度/低ノイズを実現
特徴
・メタルコア基板採用により、高安定
・低温度ドリフト
・電圧、電流出力どちらにも対応可能
電子ビーム描画装置への開発段階で、装置が要求
する高速高精度高安定を実現する可変電圧アンプ
を製造するためには高速アンプ技術が欠かせませ
ん。
しかし、市販されているオペアンプでは、要求さ
れている電圧とスピードとの両立が出来ず、性能
を満足出来ませんでした。そのため、ディスクリ
ート部品にてアンプ基板を開発しました。
さらに、高安定化のために精密抵抗を要所に使用
するなど、妥協をせず作り込みをしました。
この開発により、当社の可変電圧アンプは市販の
アンプでは実現が難しい電圧とスピードを実現し
ています。
・ディスクリート部品にてアンプ開発
・高ゲイン120dB以上
・nSecオーダーの高速セトリング
・市販のオペアンプでは困難なトップクラスの高精度/高安定度/高速性
特徴
・可変電圧アンプの出力段として活用
・高ゲイン
・ディスクリート設計
・定電流回路技術
・差動パラレル入力
・超高精度リファレンス技術
・放熱技術(水冷・空冷)
高精度なセトリング評価技術
セトリングモニタによるセトリング測定波形
を示します。
ここに示した波形は昔ながらの加算点を1000
倍に拡大した評価方法です。
nSecオーダーの評価は大変厳しく、現在では
ほとんど使われなくなりました。
今でも20bit精度やnSecオーダーのセトリン
グ評価は大変難しく困難な課題の一つです。
しかし、当社のセトリング評価は専用の治具
と独自の評価方法により、描画結果と合致し
た高い評価結果を得られており、信頼性の高
い評価方法として確立されています。
これまでの実績の一部、V-AMPをご紹介いたします
出力電圧・入出力I/F等ご相談いただくことで、最適な仕様のご提案をいたします。
製品の高信頼性の評価をいただいており、連続稼動(30年以上の実績)に耐える製品です。
より高速高精度品もご提供しています。
ご不明な点やご質問、仕様の問い合わせなどは、いつでも承りますので、
どうぞお気軽にご相談ください。