

電子ビーム描画装置向けの偏向アンプ、デジタル制御回路を開発してきた技術により、
お客様の様々な課題を解決する支援をいたします。先ずはお気軽にご相談ください。
![[イメージ]可変電圧アンプ回路](img/business_t01.jpg)
高速・高精度、高安定度、
低ノイズ、高信頼性を実現します
当社の可変電圧アンプは、ユニット内部にデジタ
ル信号処理部、DAコンバータ部、アンプ部、
ADコンバータ部を持ち、様々なアプリケーショ
ンへの対応が可能です。用途に応じてユニット
内部のモジュール(基板)の入れ替えや部分的な
設計開発を行う事で開発費を削減し、お客様の
仕様に合わせた製品のご提供が可能です。
![[イメージ]パワートランジスタ](img/business_t01-01.jpg)
水冷板にてパワートランジスタを冷却
![[イメージ]パワーアンプ](img/business_t01-02.jpg)
![[イメージ]ビス止め](img/business_t01-03.jpg)
写真は、当社のパワーアンプや温度変
動を抑えたい帰還抵抗等の部品をユニ
ット内部の水冷板にて、冷やしている
一例です。素子の発熱を抑えるだけで
なく、ユニット内部の対流による温度
変化も抑えることが出来ます。ヒート
シンクや水冷板を使った、安定化のた
めの放熱・冷却構造も得意としており
様々なご提案が可能です。
当社の可変アンプは様々な分野で活躍することが可能です
アナログ出力が必要なお客様に特に最適で、直流、交流、どちらにも対応出来ます。お客様の用途に合わせたカス
タマイズを行うことで、様々なシーンで活用いただけます。
![[イメージ]利用シーン](img/business_t02.jpg)
半導体製造プロセスにおける電子ビーム制御
当社の可変電圧アンプは、半導体製造装置である電子ビーム描画装置に、
偏向アンプとして採用されています。
電子ビーム描画装置は、ICの回路パターンをフォトマスクやシリコンウェハ上に描画するための装置で、
現代の高集積化されたICには欠かせない装置となっています。
この回路パターンを描画するためには、電子ビームを照射し描画していきます。
任意のパターンを描画するためには、電子ビームを高速高精度に変化させる必要があり、
このビームを可変させるために、当社の可変電圧アンプが採用されています。
![[イメージ]半導体製造プロセス](img/business_t03.jpg)
![[イメージ]電子ビーム](img/business_t03-1.jpg)
電子ビームを高速高精度に変化させる
には、偏向電極に電圧を与える必要が
あります。回路パターンはnmオーダ
ーの微細パターンであるため、与える
電圧も超高精度の高安定が、不可欠で
す。さらに微細化が進めば、回路規模
も大きくなるため、可変電圧の高速化
も求められてきます。
当社の可変電圧アンプは、装置側の要
求を十分満足させ、20年以上に渡り
世界トップレベルの性能を持つ可変電
圧アンプをご提供してきた実績があり
ます。
![[イメージ]基板](img/business_t04.jpg)
コア技術とプラットフォーム共通化
当社では、それぞれの制御基板をお客様の仕様に合わせ開発・設計いたします。
さらに、当社が持つコア技術を活かし、さまざまな製品のプラットフォームとなる制御基板を提案
させていただく事が出来ます。
![[イメージ]プラットフォーム共通化](img/business_t04-1.jpg)
![[イメージ]DAコンバータ開発](img/business_t05.jpg)
電子ビーム描画装置への開発段階で、装置が要求
する高速高精度を実現する可変電圧アンプを製造
するためには、DAコンバータが欠かせません。
しかし、市販されているDAコンバータでは、要
求されている性能を満足出来ないことが分かり、
ディスクリート部品にてDAコンバータ基板を自
作する事としました。この開発により、
当社の可変電圧アンプは世界最高レベルの性能を
持つにいたりました。
・ディスクリート部品にてDAコンバータ開発
・24bit分解能 20bit精度を実現
・市販DAコンバータでは困難なトップクラスの高精度/高安定度/低ノイズを実現
![[イメージ]DAコンバータ情報](img/business_t05-01.jpg)
![[イメージ]DAコンバータ情報](img/business_t05-02.jpg)
特徴
・メタルコア基板採用により、高安定
・低温度ドリフト
・電圧、電流出力どちらにも対応可能
![[イメージ]DAコンバータ情報](img/business_t05-03-1.jpg)
![[イメージ]ディスクリートアンプ開発](img/business_t06.jpg)
電子ビーム描画装置への開発段階で、装置が要求
する高速高精度高安定を実現する可変電圧アンプ
を製造するためには高速アンプ技術が欠かせませ
ん。
しかし、市販されているオペアンプでは、要求さ
れている電圧とスピードとの両立が出来ず、性能
を満足出来ませんでした。そのため、ディスクリ
ート部品にてアンプ基板を開発しました。
さらに、高安定化のために精密抵抗を要所に使用
するなど、妥協をせず作り込みをしました。
この開発により、当社の可変電圧アンプは市販の
アンプでは実現が難しい電圧とスピードを実現し
ています。
・ディスクリート部品にてアンプ開発
・高ゲイン120dB以上
・nSecオーダーの高速セトリング
・市販のオペアンプでは困難なトップクラスの高精度/高安定度/高速性
![[イメージ]ディスクリートアンプ情報](img/business_t06-01.jpg)
![[イメージ]ディスクリートアンプ情報](img/business_t06-02.jpg)
特徴
・可変電圧アンプの出力段として活用
・高ゲイン
・ディスクリート設計
・定電流回路技術
・差動パラレル入力
・超高精度リファレンス技術
・放熱技術(水冷・空冷)
![[イメージ]DAコンバータ情報](img/business_t06-03.jpg)
高精度なセトリング評価技術
セトリングモニタによるセトリング測定波形
を示します。
ここに示した波形は昔ながらの加算点を1000
倍に拡大した評価方法です。
nSecオーダーの評価は大変厳しく、現在では
ほとんど使われなくなりました。
今でも20bit精度やnSecオーダーのセトリン
グ評価は大変難しく困難な課題の一つです。
しかし、当社のセトリング評価は専用の治具
と独自の評価方法により、描画結果と合致し
た高い評価結果を得られており、信頼性の高
い評価方法として確立されています。
![[イメージ]DAコンバータ情報](img/business_t06-04.jpg)
これまでの実績の一部、V-AMPをご紹介いたします
出力電圧・入出力I/F等ご相談いただくことで、最適な仕様のご提案をいたします。
製品の高信頼性の評価をいただいており、連続稼動(30年以上の実績)に耐える製品です。
より高速高精度品もご提供しています。
ご不明な点やご質問、仕様の問い合わせなどは、いつでも承りますので、
どうぞお気軽にご相談ください。
![[イメージ]V-AMP一覧](img/business_t07-01.jpg)




























